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IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機
產(chǎn)品型號: SB系列
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機 SB系列，適合半導體制造工藝中的抗蝕劑涂覆工藝。

IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機  的詳細介紹

IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機 SB系列     產(chǎn)品特點：

●高精準度

準確測量和分配光刻膠和其他化學溶液

●輕巧緊湊的設計

●接液部件材料包括不銹鋼（SUS304）和氟樹脂（PTFE、PFA）類型

●具有優(yōu)異的耐腐蝕性，并且不存在液體污染

IWAKI易威奇/氣動波紋管泵/點膠機 SB系列     產(chǎn)品參數(shù)：

*大排放量 100mL/沖程
*大排出壓力范圍 0.05～0.1MPa
供氣壓力范圍 0.15～0.5MPa
*大耗氣量 1.0NL/行程
主要成分 SUS304/PTFE、PFA
液體溫度范圍 15~25℃

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