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IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
產(chǎn)品型號(hào): FLP-60W
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列，無需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，降低總體成本， 適用于單晶圓工藝的負(fù)載追隨性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列  的詳細(xì)介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列        產(chǎn)品特點(diǎn)：

●低脈動(dòng)

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負(fù)載波動(dòng)期間的跟隨性

●無需阻尼器可節(jié)省空間


IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP-60W       產(chǎn)品特參數(shù)：

*大排放量注 50L/min（供氣壓力0.2MPa、淡水25℃）
工作液溫度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供氣壓力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗氣量 464NL/分鐘
*大行程數(shù) 160次/分鐘
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大轉(zhuǎn)移液粘度 50毫帕·秒
連接管徑 ?25mm × ?22mm（PFA管）

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